凈化車間的潔凈度級別通常分為:百級、千級、萬級、十萬級和三十萬級。十萬級凈化車間一般適用于電子儀器儀表、計(jì)算機(jī)房、半導(dǎo)體廠、印刷廠、汽車工業(yè)、航天工業(yè)、光刻和微機(jī)制造等行業(yè)中。十萬級凈化車間的要求不僅僅是需要空氣潔凈度為十萬級,還需要保證能達(dá)到除靜電的效果。在十萬級凈化車間中,塵粒1大允許數(shù)≥0.5微米的粒子數(shù)不允許超過350萬個;換氣次數(shù):10-15次/小時(shí);壓差:主車間相對相鄰房間≥5pa;溫度:冬季>16℃±2℃;夏季小于26℃±2℃;相對濕度:45-65%(RH);噪聲≤65dB(A);新風(fēng)補(bǔ)充量:總送風(fēng)量的20%-30%;照度大于等于300Lux。
車間凈化主要是將一定空間范圍內(nèi)的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等污染物排除,并將室內(nèi)的溫度、潔凈度、壓差、氣流速度、噪音、照明、等控制在一定范圍內(nèi),用以保證產(chǎn)品可以在穩(wěn)定良好的環(huán)境下生產(chǎn)。當(dāng)然是否需要做凈化主要取決于工廠生產(chǎn)的產(chǎn)品的類型,潔凈車間施工,工藝要求。根據(jù)區(qū)域環(huán)境、凈化程度等因素,凈化車間可為若干等級。一般來說,麗水潔凈車間,數(shù)值越小,代表凈化級別越高。即百級>千級>萬級>十萬級>三十萬級。不論是哪個級別的凈化一般要經(jīng)過初效過濾、中效過濾、高效過濾三個過濾段。凈化過程從氣流→初效凈化→加濕段→加熱段→表冷段→中效凈化→風(fēng)機(jī)送風(fēng)→管道→高效凈化風(fēng)口→吹入房間→帶走塵埃細(xì)菌等顆粒 → 回風(fēng)百葉窗→初效凈化 ,重復(fù)這樣的一系列過程,即可達(dá)到凈化目的。
無塵車間生產(chǎn)對于濕度控制是非常重要的條件之一,無塵車間、潔凈室運(yùn)作過程中一個常用的環(huán)境控制條件是相對濕度。半導(dǎo)體無塵車間、潔凈室中的典型的相對濕度的目標(biāo)值大約控制在30至50%的范圍內(nèi),允許誤差在±1%的狹窄的范圍內(nèi),例如光刻區(qū)或者在遠(yuǎn)紫外線處理(DUV)區(qū)甚至更小而在其他地方則可以放松到±5%的范圍內(nèi)。